电子束热蒸发制备锂镧钛氧薄膜的方法

摘要

本发明属锂离子薄膜电池技术领域，具体为一种锂离子薄膜电池的固态电解质锂镧钛氧薄膜(LLTO)的制备方法。本发明采用电子束热蒸发沉积法制备锂镧钛氧薄膜，其特点是薄膜的沉积面积大，沉积速率高，其锂离子的离子导电率可达2×10^-7S/cm。结合射频磁控溅射制备的LiCoO₂或LiMn₂O₄阴极薄膜，射频磁控溅射制备的锂磷氧氮(LiPON)保护层薄膜与真空热蒸发制备的金属锂阳极薄膜，组装成全固态薄膜锂电池。电池的比容量为45mAh/cm²-μm和24mAh/cm²-μm，循环次数可达150次。这些结果表明：电子束热蒸发方法制备LLTO固态电解质薄膜，能应用于全固态薄膜锂电池。