具有故障诊断功能的微机电系统器件

摘要

为了实现监测运动部件的机械响应特性的MEMS器件，以便无需改变现有的控制输入且不添加任何组件来检测严重故障的预兆，提供了：振动探测装置80，用于探测在双状态之一中在运动部件60中激励的微振动；动态特性分析单元，在来自探测的输出的基础上分析运动部件60的动态特性；存储器100，存储所分析的数据；运算单元110，检索所存储的数据，比较时域上相继的两条数据并计算所述两条数据之间的差异信息；以及故障诊断单元120，基于差异信息进行故障诊断。