微机电系统磁芯螺线管微电感器件的制备方法

摘要

本发明提供一种微机电系统磁芯螺线管微电感器件的制备方法，利用微机电系统MEMS技术，对双面氧化的硅片进行处理，得到双面套刻对准符号，以便曝光时提高对准精度，采用物理刻蚀技术去种子层，采用一次电镀连接导体，制备出的微电感器件主要由衬底，引脚，线圈、磁芯组成，环形闭合的磁芯上对称绕制两组相连的三维立体螺线管线圈，线圈由底层线圈和顶层线圈通过连接导体连接形成，底层线圈、顶层线圈及连接导体通过聚酰亚胺绝缘材料和磁芯隔开。本发明方法避免了湿法刻蚀工艺带来的钻蚀现象，解决了线圈的立体绕线和层间的绝缘问题及高深宽比的电镀问题，使得微电感器件的电感性能大大提高。