特别用于极端温度应用的用于电子器件测试装置的探针卡

摘要

披露了一种用于电子器件的测试装置的探针卡，其包括至少一个容纳多个接触探针(22)的测试头(21)，各接触探针(22)具有至少一个适合于接靠在待测器件(25)的接触垫上的接触尖端，以及与加强件(24)和中间支承件(26，33)关联的测试头(21)的支承板(23)，该中间支承件(26，33)连接至所述支承板(23)并适合在其相对两侧上制得的接触垫之间提供距离的空间变换。合宜地，该探针卡包括与所述中间支承件(26，33)结合的支承件(28)，所述中间支承件(26，33)由适用于印刷电路板技术的材料制成并具有大于10x10^‑6的热膨胀系数，所述支承件(28)由热膨胀系数小于6x10^‑6的金属材料制成。