一种超精密主动光学调制方法及系统

摘要

本发明公开了一种基于多区间热变形调制的超精密主动光学调制方法及系统。本系统包括反射镜、多路可控电源、反馈控制组件和面形监测设备；其中，所述反射镜的底层为高电阻率材料层，底层之上为低电阻率材料层，所述低电阻率材料层上设置多对电极，每一对电极用于通电后对低电阻率材料层设定表层局部区域产生热变形；所述多路可控电源中的每一路与一对电极连接，用于控制对应对电极的电流大小；所述面形监测设备，用于监测低电阻率材料层的热变形并将监测信息发送给反馈控制组件；所述反馈控制组件，用于根据收到的监测信息确定各对电极的最优电流大小。本发明提供一种具有高空间分辨、高稳定性特征的变形镜及主动光学系统，结构简单、性能稳定。