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公开/公告号CN109870884B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-01-19
原文格式PDF
申请/专利权人 长春理工大学;
申请/专利号CN201910310855.7
发明设计人 翁占坤;蒋旭珂;王作斌;曹亮;张钦涵;董莉彤;刘日;李理;许红梅;宋正勋;
申请日2019-04-18
分类号G03F7/20(20060101);
代理机构22214 长春众邦菁华知识产权代理有限公司;
代理人李青
地址 130000 吉林省长春市朝阳区卫星路7089号
入库时间 2022-08-23 11:29:31
机译: 一种使用激光干涉光刻技术在大面积上形成精细图案的方法,通过该方法形成的精细图案的非平面转移的方法以及通过转移方法转移了精细图案的物品
机译: 利用激光干涉曝光在大面积上形成精细图案的方法,通过该方法形成的精细图案的非平面转移的方法以及通过转移方法转移精细图案的方法
机译:激光干涉诱导向后转移技术制备硅纳米带结构
机译:通过激光干涉引起的向后转移技术制造硅纳米纳秒结构
机译:一种用于研究磁头/磁盘界面动力学的新型激光干涉仪系统
机译:通过集成扫描运动提高微观激光干涉系统精度测量的微观激光干涉系统的精度
机译:转移在调整中的作用:审查新移民导向后的社会化过程
机译:ation骨三个内部Down骨的向后和向后回;一种先前未描述的脚脱位形式
机译:一种拍摄调制的118.8-μmCh 3 sub> OH激光干涉仪系统及其在Jipp T-II等离子体的电子密度测量中的应用
机译:一种用于确定冲击隧道中自由飞行模型力的激光干涉轨迹跟踪系统