一种激光干涉向后转移系统

摘要

一种激光干涉向后转移系统涉及激光转移加工领域，基于激光转移技术与干涉技术的结合，将衬底材料以图案的方式向后转移透明衬底材料表面。该系统包括：脉冲激光器、分束镜、反射镜和偏振镜；脉冲激光器发出激光，通过分束镜分出至少两束光，经由反射镜反射，通过在激光能量范围内调节能量密度，几束光发生干涉；待加工组件包括透光材料和体材料，激光穿过透光材料在体材料表面发生干涉，发生干涉的激光对体材料烧灼，溅射的物质沉积在与体材料临近的透光材料面上，形成纳米级图案。本发明的双光束激光向后转移干涉系统，可以直接在普通环境下实现材料转移和大面积的干涉周期结构的直接制备，加工效率高，成本低，无污染，方法简便，结构完整清晰。