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一种非真空条件下让可升华材料从本体转移到基底上制备薄膜的方法

摘要

本发明涉及一种非真空条件下让可升华材料从本体转移到基底上制备薄膜的方法,所述可升华材料分子量≤1000克/摩尔,制备方法包括以下步骤:将可升华材料在本体表面制膜或者制成薄片,然后将该本体上含有上述可升华材料的一面与基底需要制膜的一面对准,在非真空条件下对本体未接触可升华材料一面进行加热,确保可升华材料转移至基底,在基底材料表面制备得到薄膜。采用本发明所述方法能够在非真空条件下制备单层或连续多层薄膜,薄膜厚度可控,解决了现有技术中在多层薄膜器件制备过程中采用溶液加工方法存在正交溶剂选择困难的问题以及采用真空蒸镀存在的成本较高的问题。

著录项

  • 公开/公告号CN109411612B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-01-19

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 武汉大学;

    申请/专利号CN201811223018.2

  • 发明设计人 谢国华;杨楚罗;相烨鹏;

    申请日2018-10-19

  • 分类号H01L51/48(20060101);H01L51/56(20060101);H01L51/42(20060101);H01L51/50(20060101);

  • 代理机构42102 湖北武汉永嘉专利代理有限公司;

  • 代理人唐万荣;官群

  • 地址 430072 湖北省武汉市武昌区八一路299号

  • 入库时间 2022-08-23 11:29:30

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