单金属层电极的多功能柔性变胞传感器、制备方法及应用

摘要

本发明属于传感器设计与制造领域，并具体公开了一种单金属层电极的多功能柔性变胞传感器、制备方法及应用。所述传感器包括金属功能层以及柔性基底，金属功能层包括第一应变栅、第一叉指电极、引线一以及引线二，第一应变栅包括M个首尾依次连接且平行布置的S型结构，第一叉指电极包括M根平行布置的叉指结构。所述制备方法包括基底层和牺牲层的制备、金属功能层的制备、传感器的剥离。本发明多功能柔性变胞传感器可应用于温度、应变、流速和湿度的测量。本发明可通过引线之间的变拓扑切换实现多功能小尺寸原位感知，同时，可实现少量引脚的变拓扑多模态的变胞感知，还可采用两种原理测量相互补充验证提高系统的鲁棒性和稳定性。