一种基于PVD技术的块体金属陶瓷材料及其制备方法和应用

摘要

本发明涉及一种基于PVD技术的块体金属陶瓷材料及其制备方法和应用。所述制备方法包括如下步骤：S1：将基片设置于PVD设备转架上，控制靶材工作面与基片正对，且两者的距离为7~50 cm；S2：控制靶材电流密度为150~300 A，基体偏压为0~‑40 V，沉积时间10~30 h，即得所述块体金属陶瓷材料。本发明通过优化靶材与基片之间的间距、靶材电流密度、基体偏压、沉积时间等核心工艺参数，使得基体负变压作用，实现了块体金属陶瓷材料的制备；制备得到的金属陶瓷组织致密，晶粒细小，硬度和强度高，断裂韧性好，具有优异的热稳定性、抗腐蚀和抗高温氧化性能，力学、物理和化学性能优异。