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公开/公告号CN108054278B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-01-15
原文格式PDF
申请/专利权人 华中科技大学;
申请/专利号CN201711189613.4
发明设计人 周印华;毛霖;孙露露;罗邦武;熊思醒;蒋友宇;蒋方圆;
申请日2017-11-23
分类号H01L51/42(20060101);H01L51/48(20060101);
代理机构42201 华中科技大学专利中心;
代理人李智;曹葆青
地址 430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
入库时间 2022-08-23 11:29:03
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