用于基板的真空处理的设备、用于具有有机材料的装置的制造的系统、和用以密封连接两个压力区域的开口的方法

摘要

本公开内容提供一种用于基板(10)的真空处理的设备(100)。此设备(100)包括第一压力区域(110)、第二压力区域(120)、位于第一压力区域(110)与第二压力区域(120)之间的开口(130)、和用以关闭开口(130)的关闭配置(140)。关闭配置包括一或多个第一永久磁铁、一或多个第二永久磁铁、和磁铁装置，磁铁装置装配以改变一或多个第一永久磁铁的磁化。