公开/公告号CN108147679B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-01-12
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海硅酸盐研究所;
申请/专利号CN201611110407.5
申请日2016-12-06
分类号C03C17/36(20060101);
代理机构31261 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙);
代理人曹芳玲;郑优丽
地址 200050 上海市长宁区定西路1295号
入库时间 2022-08-23 11:28:35
机译: 原子层沉积法制备含氧化钇薄膜的方法
机译: 用于具有均匀粒径的薄膜涂层的氟氧化钇或氟化钇粉末及其制备方法
机译: 用于具有均匀粒径的薄膜涂层的氟氧化钇或氟化钇粉末及其制备方法