公开/公告号CN111930636B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-01-08
原文格式PDF
申请/专利权人 北京易真学思教育科技有限公司;
申请/专利号CN202010996284.X
申请日2020-09-21
分类号G06F11/36(20060101);G06F16/33(20190101);G09B19/00(20060101);
代理机构31327 上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人高彦
地址 100043 北京市石景山区实兴大街30号院3号楼2层A-2667房间
入库时间 2022-08-23 11:28:32
机译: 检查方法,装置和系统,计算机设备和存储介质
机译: 行李检查方法,设备,系统,服务装置和存储介质
机译: 基板处理系统,基板处理装置的表面,基板表面检查设备,存储介质和基板表面检查方法