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用于材料特性描述的断层图像重建

摘要

本发明的一些实施例提供了一种通过迭代断层图像重建确定样品中材料的材料特性的方法。该方法进行样品的一次或多次X射线断层摄影的扫描,然后使用断层图像重建算法确定样品中的多个体积元的一个或多个估算的材料特性,例如原子序数和强度。然后通过参考存储的已知材料特性数据来修改这些估算的材料特性。优选地,在重建期间确定样品体积的组成包括将样品分割成具有共同组成的区域,在迭代重建期间执行分割而不是基于在迭代重建完成时确定的体素特性。优选的版本将会执行断层图像重建算法一次或多次额外的迭代,其中每一次迭代更新体积元的一个或多个估算的材料特性。

著录项

  • 公开/公告号CN107251094B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-01-08

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 FEI公司;

    申请/专利号CN201580054693.5

  • 申请日2015-08-15

  • 分类号G06T11/00(20060101);

  • 代理机构44205 广州嘉权专利商标事务所有限公司;

  • 代理人郑勇

  • 地址 美国俄勒冈州

  • 入库时间 2022-08-23 11:28:11

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