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一种幻彩膜电镀工艺的改进式蒸发槽

摘要

本发明公开了一种幻彩膜电镀工艺的改进式蒸发槽,包括蒸发槽和覆盖在蒸发槽顶端的盖板,蒸发槽内部两侧壁上均匀等间距的固定安装有两排第一铜柱电极和第二铜柱电极,每组第一铜柱电极和第二铜柱电极之间放置有钼舟,且钼舟间隔分布在第一铜柱电极和第二铜柱电极之间,钼舟两侧分别形成有电极连接头,第一铜柱电极和第二铜柱电极与相应的电极连接头之间,通过放置铜片进行导电连接,每个钼舟上均紧密排列有多块靶材,钼舟下端还垫有上支撑垫块和下支撑垫块,且上支撑垫块和下支撑垫块均为绝缘垫块。本发明提供的蒸发槽组件配合蒸镀真空工艺,能够实现透明反光炫彩膜的加工工艺过程。

著录项

  • 公开/公告号CN109518137B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-01-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 合肥市辉耀真空材料有限责任公司;

    申请/专利号CN201910021947.3

  • 发明设计人 刘思远;

    申请日2019-01-10

  • 分类号C23C14/26(20060101);C23C14/06(20060101);

  • 代理机构

  • 代理人

  • 地址 230000 安徽省合肥市长丰双凤经济开发区凤庆路东侧

  • 入库时间 2022-08-23 11:27:59

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