公开/公告号CN110689977B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-01-01
原文格式PDF
申请/专利号CN201910858820.7
申请日2019-09-11
分类号G21C17/017(20060101);
代理机构32103 苏州创元专利商标事务所有限公司;
代理人汪青
地址 215004 江苏省苏州市西环路1788号
入库时间 2022-08-23 11:27:37
机译: 视频板检查方法及检查设备
机译: 样品架,半导体制造设备,半导体检查设备,电路图形检查设备,带电粒子束应用设备,校准板,样品保持方法,电路图形检查方法和带电粒子方法
机译: 板检查设备,板处理设备,板检查方法和板处理方法