一种大规模集成电路用5层复合石英坩埚及其制备方法和表面处理方法

摘要

本发明公开了一种大规模集成电路用5层复合石英坩埚及其制备方法和表面处理方法，属于石英坩埚加工处理技术领域，由5层石英组成，由外至内的厚度依次递减，依次包括外层天然石英、内层天然石英、半晶态石英、微晶态合成石英和内层合成石英，外层天然石英和内层天然石英均为高气泡天然石英，半晶态石英为少气泡石英，微晶态合成石英和内层合成石英中无气泡，微晶态合成石英中含有0.15％的混合稀土，混合稀土为镧铈混合稀土，内层合成石英内含有0.11％的双相增韧共聚物，双相增韧共聚物包括如下组成成分：Ni、Mn、N、Cu、Ag、Co和Fe。本发明解决现有技术中石英坩埚存在的内应力大、耐温性能差及使用寿命低的问题。