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公开/公告号CN108258040B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-01-01
原文格式PDF
申请/专利权人 西安电子科技大学;
申请/专利号CN201711436190.1
发明设计人 段宝兴;孙李诚;吕建梅;杨鑫;杨银堂;
申请日2017-12-26
分类号H01L29/739(20060101);H01L21/331(20060101);H01L29/06(20060101);
代理机构61211 西安智邦专利商标代理有限公司;
代理人胡乐
地址 710071 陕西省西安市太白南路2号
入库时间 2022-08-23 11:27:26
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