设备的异常评估方法与异常评估装置

摘要

本发明提供了一种设备的异常评估方法，包括下列步骤。根据一配方信息与一传感信号，取得对应于一生命周期的一特征序列，特征序列包括多个特征子集序列，生命周期关联于多个工艺操作。对生命周期重复执行一生命区段分析程序，以取得生命周期中的多个生命区段，以及每一生命区段所对应的特征子集序列。根据每一生命区段所对应的特征子集序列，来建构每一生命区段的一趋势分布。根据多个趋势分布来决定是否发出一警示信息。