公开/公告号CN100431013C
专利类型发明授权
公开/公告日2008-11-05
原文格式PDF
申请/专利权人 日立环球储存科技荷兰有限公司;
申请/专利号CN200610135573.0
申请日2006-10-18
分类号G11B5/84(20060101);C23C16/04(20060101);
代理机构11105 北京市柳沈律师事务所;
代理人张波
地址 荷兰阿姆斯特丹
入库时间 2022-08-23 09:01:09
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-12-04
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G11B 5/84 授权公告日:20081105 终止日期:20121018 申请日:20061018
专利权的终止
2008-11-05
授权
授权
2007-06-13
实质审查的生效
实质审查的生效
2007-04-25
公开
公开
机译: 在高密度图案化介质上制造伺服图案的设备,方法和系统
机译: 在高密度图案化介质上制造伺服图案的设备,方法和系统
机译: 在介质上生成伺服图案的装置,形成伺服图案化的原版的方法以及形成伺服图案化的介质的方法。