使用高维变量选择模型确定关键参数

摘要

高维变量选择单元从来自例如半导体检验工具或其它类型的半导体制造工具等半导体制造工具的传感器数据及参数工具测量值确定关键参数列表。举例来说，高维变量选择模型可为弹性网、前向逐阶段回归或最小角回归。所述关键参数列表可用于设计下一代半导体制造工具，用于使所述半导体制造工具返回到正常状态，用于使半导体制造工具的结果与另一半导体制造工具的结果相匹配，或用于开发所述半导体制造工具的规范。