紧凑型太赫兹波阵列图像传感器芯片

摘要

本发明提供了一种紧凑型太赫兹波阵列图像传感器芯片，涉及太赫兹波探测技术领域。该芯片包括：太赫兹像素阵列为CMOS工艺中的若干层金属；列并行读出电路、电源偏置电路和数字逻辑控制模块均置于所述太赫兹像素阵列的下方，且采用置于所述太赫兹像素阵列下方的CMOS工艺中的若干层金属作为互连线。本发明提供了一种紧凑型太赫兹波阵列图像传感器芯片，大大提高了太赫兹阵列图像传感器的集成度，解决了读出电路占用芯片面积过大的问题，减小了芯片整体面积，为大规模阵列图像传感器打下基础。