光学声敏元件以及包括其的光学声传感器

摘要

一种光学声敏元件以及包括其的光学声传感器，该光学声敏元件包括：拾音结构和光学检测结构。拾音结构包括支座、拾音膜片和支撑梁，拾音膜片通过至少一根支撑梁固定于支座上，由拾音膜片与支座形成一非封闭腔体，拾音膜片面积大于所有支撑梁面积之和，拾音膜片具有一位于非封闭腔体内的反光面。光学检测结构用于发出光信号并使光信号照射至该反光面上进行反射，以及接收被该反光面反射的光信号；其中，拾音膜片感应声信号而产生机械振动，从而对光信号在被光学检测结构接收前进行调制。本发明的结构设计能放大拾音膜片感应外界声信号所产生的最大位移，结合光学检测方法能有效增强元件声响应灵敏度，尤其适用于对微弱声波的高灵敏度低噪声探测。