公开/公告号CN110112967B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-12-22
原文格式PDF
申请/专利权人 浙江众邦机电科技有限公司;
申请/专利号CN201910395775.6
申请日2019-05-13
分类号H02P8/08(20060101);H02P8/32(20060101);
代理机构31219 上海光华专利事务所(普通合伙);
代理人沈金美
地址 317000 浙江省台州市临海市江南街道七一河路181号
入库时间 2022-08-23 11:26:11
机译: 一种在衬底表面上电镀金属时自动控制多阳极装置的电流分布的方法和系统
机译: 一种在衬底表面上电镀金属期间自动控制多阳极装置的电流分布的方法和系统
机译: 一种在衬底表面上电镀金属期间自动控制多阳极装置的电流分布的方法和系统