一种基于Piston-mode的带质量负载可调谐MEMS压电声换能器

摘要

本发明涉及传感器技术，尤其涉及一种基于Piston‑mode的带质量负载可调谐MEMS压电声换能器，包括MEMS压电声换能器和质量负载；质量负载设置于MEMS压电声换能器上并与MEMS压电声换能器的表面接触连接；质量负载或设置于MEMS压电声换能器的上表面，或设置于MEMS压电声换能器的下表面，或MEMS压电声换能器的上、下表面均设置质量负载。质量负载可将MEMS压电超声换能器的振动形式变为Piston‑mode，在该模式下，MEMS压电声换能器在振动时可以推动更多的空气，产生更大的声压。质量负载的加入会导致声换能器的谐振频率的改变，可以通过调节质量负载的结构、材料等参数调节声换能器的谐振频率。该换能器用于发射声波时，能提高电声能量转换效率；用于接收声波时，能提高换能器的灵敏度。