在抗蚀剂应用中作为光酸生成剂的磺酸衍生化合物

摘要

提供新颖光酸生成剂化合物。还提供包括所述新颖光酸生成剂化合物的光阻剂组合物。本发明进一步提供制造和使用本文所揭示的所述光酸生成剂化合物和光阻剂组合物的方法。所述化合物和组合物适用作用于各种微制造应用的化学增幅型抗蚀剂组合物中的光敏性组分。