法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-01-23
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B08B 1/04 授权公告日:20080827 终止日期:20111124 申请日:20051124
专利权的终止
2008-08-27
授权
授权
2006-07-19
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-05-24
公开
公开
机译: 用于带电粒子束系统的双级带电粒子束能量宽度减小系统
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