一种包含聚对羟基苯乙烯类聚合物和丙烯酸酯共聚物的光刻胶组合物

摘要

本申请涉及一种光刻胶组合物，所述光刻胶组合物包含(a)丙烯酸酯共聚物；(b)聚对羟基苯乙烯类聚合物；(c)光生酸剂；(d)酸猝灭剂；和(e)溶剂。本申请的有益效果在于通过增加丙烯酸酯共聚物的分子量以及提高丙烯酸酯共聚物分子链的柔性，并将丙烯酸酯共聚物与传统的聚对羟基苯乙烯类聚合物共混，解决了基于丙烯酸酯的光刻胶在厚度大于或等于6微米时的开裂问题，使得本申请的光刻胶组合物可满足厚度大于或等于6微米且在248nm下光刻和刻蚀的需求。