基于阻尼敏感的谐振式气体压力传感器

摘要

本发明涉及一种基于阻尼敏感的谐振式气体压力传感器，其包括闭环控制结构与数字处理系统；闭环控制结构设置顺序连接的MEMS谐振器、跨阻放大器与比例积分控制器；数字处理系统设置顺序连接的缓冲器、模数转换器、处理器与输入输出端子；比例积分控制器连接缓冲器。上述谐振式气体压力传感器实现了谐振式振幅检测技术，具有体积小、功耗低及成本低的优点，采用MEMS谐振器工作在气体环境中，当气压发生变化时MEMS谐振器的振动状态就会因阻尼变化而改变，通过对MEMS谐振器振幅的检测就可以得到气压的变化。并且，由于检测量为谐振器的振幅，其相对变化量远大于电阻式和电容式的检测量，检测的灵敏度大大高于电阻式和电容式，且制作工艺也较为简单。