高频用磁性薄膜、复合磁性薄膜和利用这些磁性薄膜的磁性元件

摘要

通过组合由T-L组合物(其中，T＝Fe或FeCo，L是从C、B和N中选择的至少1种元素)构成的T-L组合物层5、和配置在该T-L组合物层5的任一面侧的Co系非晶质合金层3，可得到兼有高导磁率和高饱和磁化的高频用磁性薄膜1。而且除T-L组合物层5和Co系非晶质合金层3以外，通过进一步配置比T-L组合物层5和Co系非晶质合金层3表现出更高电阻的高电阻层7，就可以得到兼有高导磁率和高饱和磁化、同时表现出高比电阻的高频用磁性薄膜1。