具有平均照明路径和平均收集路径的共焦检查系统

摘要

本发明提供了一种能够对样本进行光学表征的共焦检查系统。物镜或单独的入射透镜和返回透镜，可将入射光从光源递送到样本并可从样本收集光。共焦光学器件可将所收集的光定向到检测器上。所述系统可将样本处的多个位置上的入射光平均化，例如通过用可枢转的反射镜来扫描入射光学路径和返回光学路径中的入射光，或者通过用多个隔开的共焦孔来照明和收集。所述系统可将所收集的光平均化，例如通过将所收集的光定向至单像素检测器上或者通过将所收集的光定向至多像素检测器上并将像素输出信号平均化以形成单电子信号。平均化所述入射光和/或返回光对于结构化的样本或不均匀的样本可为有利的。