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公开/公告号CN108831850B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-11-27
原文格式PDF
申请/专利权人 潍坊华光光电子有限公司;
申请/专利号CN201810665064.1
发明设计人 贾旭涛;赵克宁;刘丽青;张广明;肖成峰;
申请日2018-06-26
分类号H01L21/67(20060101);H01L21/78(20060101);H01S5/22(20060101);
代理机构
代理人
地址 261061 山东省潍坊市高新区新城街道玉清社区金马路9号管芯净化厂房
入库时间 2022-08-23 11:23:13
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