公开/公告号CN108318765B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-11-27
原文格式PDF
申请/专利权人 北京中芯标准科技有限公司;
申请/专利号CN201810276509.7
申请日2016-05-25
分类号G01R31/00(20060101);G01R31/58(20200101);
代理机构
代理人
地址 100089 北京市海淀区北太平庄路2号院21号楼四层403
入库时间 2022-08-23 11:23:00
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