公开/公告号CN105801612B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-11-27
原文格式PDF
申请/专利权人 弗萨姆材料美国有限责任公司;
申请/专利号CN201610141031.8
申请日2013-06-03
分类号C07F7/10(20060101);C23C16/34(20060101);C23C16/36(20060101);C23C16/40(20060101);C23C16/455(20060101);
代理机构11256 北京市金杜律师事务所;
代理人吴亦华;徐一琨
地址 美国亚利桑那州
入库时间 2022-08-23 11:23:00
机译: 单有机氨基乙硅烷前体和沉积包含相同膜的方法
机译: 有机氨基乙硅烷前体和沉积包含其的膜的方法
机译: 有机氨基乙硅烷前体和沉积包含其的膜的方法