施加固定作用力的原子力显微镜探针装置

摘要

本发明公开了一种原子力显微镜探针装置，利用真空吸附装置抵消探针重力，可有效避免换针过程中的脱针现象。通过设置具有狭槽贴片的施力件以及在探测针上设置相应的狭槽，狭槽贴片上设置弹性的施力装置，在探针座真空吸附探测针之后根据测试样品将狭槽贴片嵌入到狭槽中的特定位置，进而对探针微悬臂末端施加固定的作用力。弹性的施力装置实现了对探针微悬臂末端的弹性固定，有效地控制探针悬臂的固定状态，提高其灵敏度，提高了测试效果。