一种低横向灵敏度的法布里珀罗光学MEMS加速度传感器

摘要

一种低横向灵敏度的法布里珀罗光学MEMS加速度传感器，包括基座，基座的上面和传感器壳体连接形成腔室，腔室内的基座上连接半导体制冷片，半导体制冷片的上方连接有第二支架，第二支架的内部连接有激光二极管，半导体制冷片上表面与激光二极管粘接，第二支架的上方连接有敏感芯片，敏感芯片的上方连接有第一支架，第一支架的上方连接有光电检测芯片及其电路板；敏感芯片为MEMS法布里珀罗光学弹簧质量结构，由可动镜面、腔体、固定镜面形成法布里珀罗腔；本发明采用法布里珀罗干涉光学加速度检测方式，结合闭环温度控制系统，具有高分辨率和灵敏度；敏感芯片采用分体式弹簧质量结构，有效隔绝横向加速度，降低了传感器的横向灵敏度。