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公开/公告号CN100402694C
专利类型发明授权
公开/公告日2008-07-16
原文格式PDF
申请/专利权人 微米技术有限公司;
申请/专利号CN02821450.1
发明设计人 J·李;A·麦克特尔;
申请日2002-08-30
分类号C23C14/18(20060101);C23C14/34(20060101);H01L27/24(20060101);
代理机构72001 中国专利代理(香港)有限公司;
代理人王景朝;谭明胜
地址 美国爱达荷州
入库时间 2022-08-23 09:00:56
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2008-07-16
授权
2005-04-13
实质审查的生效
2005-02-09
公开
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