一种四光束结构激光外差干涉滚转角测量装置及方法

摘要

本发明公开了一种四光束结构激光外差干涉滚转角测量装置及方法，包括单频激光器，单频激光器的出射光路上设置有消偏振分光棱镜；消偏振分光棱镜的反射光轴和透射光轴分别经声光调制器、偏振分光棱镜与直角棱镜连接形成两组衍射光，两组衍射光分别经一个四分之一波片后与分光棱镜连接形成两束测量光，分光棱镜的两个出射面方向分别经光电探测器后与相位计连接，通过相位计与计算机连接。本发明提高了单束测量光的测量分辨率，极大的提高了测量分辨率，能够为精密导轨运动副、高档数控机床等的滚转角测量提供更为精密和可靠的检测方法和技术。