低损耗有机聚合物阵列波导光栅的蒸汽回溶制备方法

摘要

本发明涉及一种有机聚合物阵列波导光栅制备方法。在硅衬底上旋涂有机聚合物波导下包层和芯层材料并分别进行烘干固化；蒸发或溅射金属膜，进行光刻和氧反应离子刻蚀，将图形之外的有机聚合物波导芯层刻蚀掉；放入有机蒸汽中，控制温度和时间，使有机聚合物波导芯层侧壁粗糙部分逐渐溶化而变得光滑；腐蚀掉金属层，旋涂有机聚合物波导上包层材料，烘干固化得到低损耗有机聚合物阵列波导光栅波分复用/解复用器。由于采用本发明的蒸汽回溶技术，减小了有机聚合物阵列波导光栅的波导侧壁粗糙度，有效地降低了由于波导侧壁粗糙引起的散射损耗，从而制作出了低损耗有机聚合物阵列波导光栅波分复用/解复用器件，使阵列波导光栅的总损耗减小了5-10dB。