纳米颗粒团聚型纳米多孔电化学驱动器及其制备和测试方法

摘要

本发明公开了一种纳米颗粒团聚型纳米多孔电化学驱动器及其制备和测试方法，该驱动器包括柔性导体材料的沉积基底和沉积在沉积基底上的驱动薄膜；该制备方法利用高能激光束轰击实现靶材从固态—等离子态—固态的转变，从而可在不同基底上形成纳米颗粒团聚型纳米多孔驱动薄膜。通过调控靶基间距、基底转速、沉积温度等制备条件，可获得颗粒粒径可控的纳米多孔电化学驱动器。克服了传统电化学驱动器不可兼顾响应速率与变形能力的不足；通过缩短离子嵌入路径、提升离子吸附能力，驱动速率与变形幅值得以同步提升。本发明驱动器响应速率快、驱动幅值高、载物驱动能力强、工艺简单且成本低廉，其可推动电化学驱动器在小型医疗器械、微纳机电系统等领域的应用。