检测光学系统任意波长透射波前的方法

摘要

本发明提供了两种检测光学系统任意波长透射波前的方法，一种是利用4种波长为λ₁～λ₄的激光干涉仪分别对复消色差光学系统进行检测，进而通过Zernike多项式拟合波长为λ_n的光学系统的透射波前；另一种是通过利用4种波长为λ₁～λ₄的检测装置分别对光学系统进行检测，进而通过离散点波前像差公式得到波长为λ_n的光学系统完整的透射波前。这两种方法均能够应用在单波长系统、消色差系统以及复消色差系统中，从而解决主要的透射式光学系统任意波长波前检测的问题。不仅使得特殊波长的激光干涉仪的检测范围变大，而且当需要检测一些特殊的光学系统时，也不需要使用造价昂贵的特殊波长的激光干涉仪进行检测，节约了检测成本。