用于磁镊装置的磁球坐标的校准方法和校准装置

摘要

本发明提供了一种用于磁镊装置的磁球坐标的校准方法和校准装置，磁球坐标的校准方法包括步骤1)通过质心法获得所述磁球的衍射环图像的图心的初始位置；步骤2)获得所述衍射环图像在第一坐标轴方向和第二坐标轴方向上的径向光强分布，将所述衍射环图像在第一坐标轴方向上的径向光强分布与其镜像分布做互相关运算以校准所述磁球在第一坐标轴上的坐标，将所述衍射环图像在第二坐标轴方向上的径向光强分布与其镜像分布做互相关运算以校准所述磁球在第二坐标轴上的坐标。本发明的校准装置能够精确测量磁球的三维坐标，生成磁球的查找表，并基于查找表实时修正磁镊装置的热漂移。