公开/公告号CN110188456B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-10-16
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院遥感与数字地球研究所;
申请/专利号CN201910452113.8
申请日2019-05-28
分类号G06F30/20(20200101);G01V1/28(20060101);
代理机构11603 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人于淼
地址 100000 北京市朝阳区安定门外大屯路甲20号北
入库时间 2022-08-23 11:17:24
机译: 一种集成电路制造工艺指标的计算方法
机译: 一种集成电路制造过程的指标计算方法
机译: 一种集成电路制造过程的指标计算方法