一种适用于微纳尺寸钛酸钡薄膜的转移印刷方法

摘要

本发明公开了一种适用于微纳尺寸钛酸钡薄膜的转移印刷方法。主要步骤为：在钛酸锶(STO)基底上生长一层锰酸锶镧(LSMO)薄膜，再生长一层钛酸钡(BTO)薄膜。在上述BTO表面通过光刻得到BTO薄膜图形，再刻蚀掉LSMO层和BTO层，得到BTO‑LSMO柱，用光刻胶光刻后显影，腐蚀液腐蚀掉中间LSMO层，形成四方凳子型BTO‑光刻胶复合结构；取一块目标底片，光刻形成上述BTO薄膜相对应的图形，刻蚀硅片形成硅柱，旋PDMS溶液之后固化，制成PDMS印章；用PDMS印章从BTO‑光刻胶复合结构上撕下并转印到旋涂有苯并环丁烯(BCB)的目标底片上，得到贴在目标底片上的BTO薄膜，完成转移印刷。