公开/公告号CN100387936C
专利类型发明授权
公开/公告日2008-05-14
原文格式PDF
申请/专利权人 德国电信股份有限公司;
申请/专利号CN200380106885.3
申请日2003-12-19
分类号
代理机构上海专利商标事务所有限公司;
代理人沈昭坤
地址 德国波恩
入库时间 2022-08-23 09:00:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-02-27
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01F 1/00 授权公告日:20080514 终止日期:20111219 申请日:20031219
专利权的终止
2008-05-14
授权
授权
2006-03-29
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-02-01
公开
公开
机译: 包括金属氧化物半导体晶体管的半导体器件的布局结构,该氧化物用于减小等离子体引起的动态随机访问存储器的损伤效应及其制造方法
机译: 用于投影曝光系统的光敏层的曝光方法,包括用具有用于在光敏层上产生强度分布的波长的附加曝光辐射对光敏层进行附加曝光。
机译: 具有减小的穿通敏感性和低R?DSon的沟槽场效应晶体管?