一种修正单焦点分形波带片的构造方法及其波带片

摘要

本发明公开了一种修正单焦点分形波带片的构造方法及其波带片，该方法包括基于第S级的Cantor序列的元素数目确定修正单焦点分形波带片上螺旋高透光带的总数M，以及修正单焦点分形波带片按照第S级的Cantor序列分形；确定能产生带有许多次焦点的单个主焦点的修正单焦点分形波带片的α1值或确定能产生带有许多次焦点的两个等强主焦点的修正单焦点分形波带片的α2值；基于得到的α1值或α2值以及修正单焦点分形波带片螺旋透光带的内外半径公式，构造出相对应的修正单焦点分形波带片。本发明设计出的波带片，能在轴向仅仅产生一级焦点或者一级和二级焦点，从而能够产生低色差图像，实现多平面同时成像，捕获微粒及光刻。