降低切换式电容器电荷泵的切换接通状态电阻的方法

摘要

本发明涉及降低切换式电容器电荷泵的切换接通状态电阻的方法，所提供的是以FDSOI工艺技术实施的切换式电容器电荷泵及其形成方法。具体实施例包括提供FDSOI衬底；提供位在FDSOI衬底上方耦合于输入接端与输出接端之间的多级第一与第二对NFET与PFET，各级的第一与第二对彼此对立；提供位在该FDSOI衬底上方的多个第一与第二电容器，各第一与第二电容器分别连接至一级的第一与第二对NFET与PFET；将各对的NFET的背栅极与PFET的背栅极连接；将该连接的NFET及PFET背栅极连接至该对的前栅极；以及将各对的源极连接至该级内的对立对的前栅极。