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公开/公告号CN107132332B
专利类型发明专利
公开/公告日2020-09-25
原文格式PDF
申请/专利权人 国网天津市电力公司;国家电网公司;
申请/专利号CN201710355242.6
发明设计人 李田;叶芳;张迅达;陈韶瑜;齐文艳;傅思伟;甘智勇;郭军科;温力;文黎;李庆钊;曹建伟;
申请日2017-05-19
分类号G01N33/208(20190101);
代理机构12209 天津盛理知识产权代理有限公司;
代理人王来佳
地址 300010 天津市河北区五经路39号
入库时间 2022-08-23 11:14:50
机译: 一种用于制造荧光材料混合物的装置,一种用于检查荧光材料混合物的均匀性的装置以及一种用于检查荧光材料混合物的均匀性的方法,该方法能够检测出混合物的终止点
机译: 用于开发处理晶圆整体表面的均匀性的方法,该晶圆具有高的均匀性,一种计算机存储介质以及一种基板处理装置
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