一种用于测试半导体裸片测试探针设备及相关系统和方法

摘要

本发明提供一种用于测试半导体裸片测试探针设备，包括设备支撑底座，支撑脚杆，主支撑杆，CCD检测摄像机，侧支撑杆，探针夹持座结构，导气连接管，连接数据线，可调节电脑支撑座结构，一体控制电脑，调节座，调节螺杆，半导体裸片支撑座结构，测试探针和调节孔。本发明在CCD检测摄像机以及信号存储器，模数转换器，光电二极管和传感器的作用下对半导体裸片的详细进行进出测试，并显示在一体控制电脑上，增加察看的便捷性；同时方便探针和半导体裸片的固定；操作简便，具有明显的智能化测试功能，能生成CCD器件输出电压与输入曝光量的关系图并由PC机显示器显示出来，并可得到有关主要的光电参量测试结果，调整方便，同时效率较高。